Вы здесь

Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии

Автор: 
Сергеева Ж. М.
Тип работы: 
кандидатская
Год: 
1994
Количество страниц: 
193
Артикул:
233287
129 грн
(417 руб)
Добавить в корзину